Prestation de jouvence du système de pulvérisation cathodique magnétron de marque EREMAP

Ref. : 25-120835

Nature du marché : APPEL_OFFRE

Type procédure : OUVERT

Périmètre : Marché européen (≥ seuils UE)

Famille : Publication européenne (JOUE)

Date de publication : 30 octobre 2025

Date limite de réponse : 2 décembre 2025 14:00

Durée de validité des offres (jours) : 2 décembre 2025 14:00

Titre : Prestation de jouvence du système de pulvérisation cathodique magnétron de marque EREMAP

Ville acheteur : Marseille cedex 7

Etat de la procédure : INITIAL

Procédure : Procédure Ouverte

Référence : Avis N° 25-120835

Code CPV : 50000000

CPV secondaires :

50000000

Lien BOAMP : https://www.boamp.fr/pages/avis/?q=idweb:25-120835

Documents de consultation : https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2882332&orgAcronyme=f2h

Lien de candidature : https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2882332&orgAcronyme=f2h

Appel d'offre

Le présent marché consiste à rénover un bâti de pulvérisation pour le dépôt de couches minces sous vide par pulvérisation cathodique magnétron acheté par Aix-Marseille Université en 2003. L'équipement est composé d'une chambre et son châssis ainsi qu'une tour de commande. Toute la partie de puissance, de contrôle et de supervision se trouve dans la tour de commande. La panoplie de refroidissement et tous les sous-ensembles (dépôt, contrôle de pression, pompage…) sont intégrés à l'ensemble chambre châssis. Les pompes primaires sont indépendantes. La chambre est équipée de 3 sources confocales et permet de réaliser des co-dépôts en utilisant ces sources simultanément. De plus, la rotation du porte substrat assure une bonne homogénéité des dépôts (5% sur un substrat de 100mm). Ce porte substrat est chauffant avec polarisation RF. La description des prestations est décrite dans le CCTP.

Montant estimatif (Euros) : 205000

Prestations de services

Critères d'Attribution

0,6Critère 1 : Valeur technique de l'offre (sur 40 points)n● Sous critère n°1 nExpérience en jouvence de système de pulvérisation : Références spécifiques sur ce système de pulvérisation en particulier et résultats sur des systèmes similaires installés par ailleurs nPondération : 30 pointsn● Sous critère n°2 nEquipe technique dédiée pour la réalisation de la prestation sur ce système de pulvérisation en particulier : profil des intervenants, qualifications, compétence.nPondération : 10 pointsnCritère Délais de jouvence (sur 15 points)nCritère Environnemental (sur 5 points) 0.6%

Pondération Prix 40% 0.4%